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用激光扫描的共焦检测法测量亚微米尺寸
用激光扫描的共焦检测法测量亚微米尺寸
作者:
藤田宏夫
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
测量
激光扫描
尺寸
摘要:
【正】 一、前言随着精密加工技术的进步,现在已能制造出1μm以下的亚微米级微型模板,这就需要在生产现场实时测量模板的尺寸。当被测模板是由反射率不同的几种材料构成时,大多采用检测反射率引起的反射光强度变化的方法,为了
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尺寸测量
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关键词热度
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文献信息
篇名
用激光扫描的共焦检测法测量亚微米尺寸
来源期刊
国外计量
学科
工学
关键词
测量
激光扫描
尺寸
年,卷(期)
1993,(2)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
10-14
页数
5页
分类号
TN247
字数
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1993(0)
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节点文献
测量
激光扫描
尺寸
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
国外计量
主办单位:
国家技术监督局情报研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
1002-5642
CN:
11-1987/T
开本:
出版地:
北京市安外和平里11区7号国家技术监督局
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
602
总下载数(次)
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