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摘要:
【正】 一、前言随着精密加工技术的进步,现在已能制造出1μm以下的亚微米级微型模板,这就需要在生产现场实时测量模板的尺寸。当被测模板是由反射率不同的几种材料构成时,大多采用检测反射率引起的反射光强度变化的方法,为了
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文献信息
篇名 用激光扫描的共焦检测法测量亚微米尺寸
来源期刊 国外计量 学科 工学
关键词 测量 激光扫描 尺寸
年,卷(期) 1993,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 10-14
页数 5页 分类号 TN247
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研究主题发展历程
节点文献
测量
激光扫描
尺寸
研究起点
研究来源
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
国外计量
双月刊
1002-5642
11-1987/T
北京市安外和平里11区7号国家技术监督局
出版文献量(篇)
602
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