用光进行的原子级尺寸的测量与控制

• 作者: 大津元一
• 来源期刊: 国外计量
• 学科: 工学
• 关键词: 光显微镜 尺寸 测量 显微镜
• 年，卷（期）: 1993,（2）
• 页码范围: 15-17
• 页数: 3页
• 分类号: TH742.6

摘要

【正】 1.前言光的代表性性质一向广为人知的是'可在自由空间中传播,不能定域在尺寸小于其波长的范围'。我们来考查一下用这种'普通'光对物体进行的测量和控制情况。首先考虑作为测量装置的代表的光学显微镜,它观测微小物体的下限,也就是分辨率,是由光的衍射特性决定的,由于这种衍射的限制不能观测尺寸小