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文献信息
| 篇名 | 半导体多层膜组分的AES和SIMS深度剖面分析 | ||
| 来源期刊 | 薄膜科学与技术 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | AES SIMS 半导体多层膜 结构 | ||
| 年，卷（期） | bmkxyjs_1993,（4） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 347-352 | |
| 页数 | 6页 | 分类号 | TN304.055 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
五维指标
引文网络
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1993(0)
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研究主题发展历程
节点文献
AES
SIMS
半导体多层膜
结构
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
薄膜科学与技术
主办单位：
南京电子器件研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
南京1601信箱43分箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
327
总下载数（次）
1
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