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文献信息
| 篇名 | 低温电子回旋共振等离子体蚀刻 | ||
| 来源期刊 | 国外核聚变与等离子体应用 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 电子回旋共振 蚀刻 等离子体应用 | ||
| 年，卷（期） | 1994,（2） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 57-62 | |
| 页数 | 6页 | 分类号 | TN305.7 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
五维指标
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研究主题发展历程
节点文献
电子回旋共振
蚀刻
等离子体应用
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研究来源
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研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
国外核聚变
主办单位：
四川省核学会
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
四川省成都市432信箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
728
总下载数（次）
3
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