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磁盘表面粗糙度移相进干涉测量仪的PZI驱动分析与设计
磁盘表面粗糙度移相进干涉测量仪的PZI驱动分析与设计
作者:
倪浆铭
王菊香
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
磁盘
粗糙度
测量仪
PZI锯齿波驱动
摘要:
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篇名
磁盘表面粗糙度移相进干涉测量仪的PZI驱动分析与设计
来源期刊
电子计算机外部设备
学科
工学
关键词
磁盘
粗糙度
测量仪
PZI锯齿波驱动
年,卷(期)
1994,(3)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
1-6
页数
6页
分类号
TP333.350
字数
语种
中文
DOI
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1994(0)
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粗糙度
测量仪
PZI锯齿波驱动
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期刊影响力
电子计算机外部设备
主办单位:
出版周期:
月刊
ISSN:
CN:
CN 33-1123/TP
开本:
出版地:
机电部杭州第五十二研究所
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
799
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3
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