扫描电镜中象散的消除

• 作者: 付建华 张良平
• 来源期刊: 分析测试仪器通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描电镜 象散 消象散器 显微镜
• 年，卷（期）: 1994,（2）
• 页码范围: 42-44
• 页数: 3页
• 分类号: TN16

摘要

文章强调象散是影响图象清晰度的重要因素,消除象散是扫描电镜(SEM)工作中重要而较难掌握的一环;介绍了象散的产生、消象散器的工作原理及象散消除过程。