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文献信息
篇名 工业用离子源的改进
来源期刊 等离子体应用技术快报 学科 工学
关键词 工业 离子源 离子植入
年,卷(期) 1994,(12) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 9-11
页数 3页 分类号 TL629.1
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