Si1—xGex合金半导体及其应用

• 作者: 沈学础 石晓红
• 来源期刊: 上海微电子技术和应用
• 学科: 工学
• 关键词: 硅 锗 合金半导体 光电子器件 微电子器件
• 年，卷（期）: 1995,（3）
• 页码范围: 48-51
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.9

摘要

Ｓｉ１－ｘＧｅｘ合金及其与Ｓｉ构成的应变层异质结构，量子阱、超晶格是近年来迅速发展起来的一种具有广阔应用前景的半导体微结构材料，本文着重综述了Ｓｉ１－ｘＧｅｘ合金的结构，电学，光学性质及其广阔和应用价值。