电镜中真空系统的返油与消除

• 作者: 杨连琪 杨静漪
• 来源期刊: 国外分析仪器技术与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 电子显微镜 真空系统 返油 维修
• 年，卷（期）: 1995,（3）
• 页码范围: 59-61
• 页数: 3页
• 分类号: TN16

摘要

本文以ＪＥＭ－２０００ＥＭ为例，分析了电镜真空系统返油产生的原因，及其对电镜的危害。对返油现象作了电路和故障的分析，同时提出了识别方法与消除措施。