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摘要:
本文主要介绍1um双阱双层金属布线硅栅CMOS专用集成电路制造中采用先进的反应离子刻蚀技术,对多种材料如LPCVD、Si3N4、PECVESi3N4、热SiO2、PEVEDSiO2、PSG、BPSG、多晶硅和Al-Si(1.0%)-Cu(0.5%)合金等进行高选择比的,各向异性刻蚀的工艺条件及其结果。获得上述各种材料刻蚀后临界尺寸(CD)总损失<0.08um的优良结果。此外还分析讨论了被选择的刻蚀
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母粒子
选择原则
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信息集成
柔性
先进制造
Intranet
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 1微米硅栅CMOSASIC制造中RIE的应用
来源期刊 上海微电子技术和应用 学科 工学
关键词 硅栅 CMOS ASIC RIE 制造
年,卷(期) 1996,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 17-21
页数 5页 分类号 TN405
字数 语种
DOI
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1996(0)
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研究主题发展历程
节点文献
硅栅
CMOS
ASIC
RIE
制造
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
上海微电子技术和应用
季刊
1006-9453
31-1239/TN
上海市胶州路397号 上海半导体器件研究
出版文献量(篇)
435
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3
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