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1微米硅栅CMOSASIC制造中RIE的应用
1微米硅栅CMOSASIC制造中RIE的应用
作者:
曹茬
蔡根寿
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
硅栅
CMOS
ASIC
RIE
制造
摘要:
本文主要介绍1um双阱双层金属布线硅栅CMOS专用集成电路制造中采用先进的反应离子刻蚀技术,对多种材料如LPCVD、Si3N4、PECVESi3N4、热SiO2、PEVEDSiO2、PSG、BPSG、多晶硅和Al-Si(1.0%)-Cu(0.5%)合金等进行高选择比的,各向异性刻蚀的工艺条件及其结果。获得上述各种材料刻蚀后临界尺寸(CD)总损失<0.08um的优良结果。此外还分析讨论了被选择的刻蚀
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文献信息
篇名
1微米硅栅CMOSASIC制造中RIE的应用
来源期刊
上海微电子技术和应用
学科
工学
关键词
硅栅
CMOS
ASIC
RIE
制造
年,卷(期)
1996,(3)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
17-21
页数
5页
分类号
TN405
字数
语种
DOI
五维指标
传播情况
被引次数趋势
(/次)
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引文网络
引文网络
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1996(0)
参考文献(0)
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引证文献(0)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
硅栅
CMOS
ASIC
RIE
制造
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
上海微电子技术和应用
主办单位:
出版周期:
季刊
ISSN:
1006-9453
CN:
31-1239/TN
开本:
出版地:
上海市胶州路397号 上海半导体器件研究
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
435
总下载数(次)
3
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