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化学机械平面化膜厚度的测量
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文献信息
| 篇名 | 化学机械平面化膜厚度的测量 | ||
| 来源期刊 | 有色与稀有金属国外动态 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 化学机械平面化 半导体 薄膜 厚度 | ||
| 年，卷（期） | 1996,（5） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 3-5 | |
| 页数 | 3页 | 分类号 | TN304.055 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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期刊影响力
有色与稀有金属国外动态
主办单位：
北京有色金属研究总院
出版周期：
半月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
北京市新街口外大街2号603室
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
498
总下载数（次）
1
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