结构应用的CVD钨和钨—铼合金

• 作者: Hayas.,T Takao.,S
• 来源期刊: 钨钼材料
• 学科: 工学
• 关键词: CVD钨 钨铼合金 结构
• 年，卷（期）: wzcl,（1）
• 页码范围: 68-73
• 页数: 6页
• 分类号: TG146.411

摘要

研究了ＣＶＤ钨和钨－铼合金的显微组织，估价了它们作为高温材料的适用性。我们发现反应室的分压影响了沉积纯钨和钨－铼合金的显微组织和表面粗糙度。沉积纯钨和钨－铼合金的晶粒度都在０．５ｕｍ以下。实验证明，细晶粒钨的硬度（Ｈｖ〉１０００，室温（Ｒ．Ｔ）、弯曲强度（Ｒ．Ｔ￣１１７５Ｋ，δ＝７００￣１２３０ＭＰａ）和线性热膨胀系数（５７５￣１１７５Ｋ，β＝４．５￣４．９×１０＾－６Ｋ＾－１）比柱状结构钨大。