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摘要:
本传感器主要用来精确测量大的压力的微小波动值,。使用前,应参照被测压力值对传感器充电一定压力的空气,测量时,籍助于特制的无张力膜使传感器内部压力跟踪外界压力,当阀门关闭时,传感器可以测量压力的波动值,当阀门开启时,传感器可以测量静压。
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文献信息
篇名 新型测量压力波动的传感器
来源期刊 上海微电子技术和应用 学科 工学
关键词 压力传感器 静压 差压 压力波动
年,卷(期) 1996,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 32-35
页数 4页 分类号 TP212
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研究主题发展历程
节点文献
压力传感器
静压
差压
压力波动
研究起点
研究来源
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
上海微电子技术和应用
季刊
1006-9453
31-1239/TN
上海市胶州路397号 上海半导体器件研究
出版文献量(篇)
435
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