新型测量压力波动的传感器

• 作者: 朱秀章
• 来源期刊: 上海微电子技术和应用
• 学科: 工学
• 关键词: 压力传感器 静压 差压 压力波动
• 年，卷（期）: shwdzjshyy_1996,（2）
• 页码范围: 32-35
• 页数: 4页
• 分类号: TP212

摘要

本传感器主要用来精确测量大的压力的微小波动值，。使用前，应参照被测压力值对传感器充电一定压力的空气，测量时，籍助于特制的无张力膜使传感器内部压力跟踪外界压力，当阀门关闭时，传感器可以测量压力的波动值，当阀门开启时，传感器可以测量静压。