基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
推荐文章
离子束辅助沉积铌提高铀的抗腐蚀性能研究
离子束辅助沉积
离子注入
腐蚀
离子束增强沉积技术
离子束增强
铜膜
离子源
离子束辅助沉积制备的铁锆多层膜中的相演化
离子束辅助沉积
非晶薄膜
铁-锆合金
聚焦离子束电子束系统及其在生物学和医学上的应用
聚焦离子束电子束系统
双束显微镜
透射电镜生物样品制备
三维重构
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 离子束辅助沉积及其应用
来源期刊 上海微电子技术和应用 学科 工学
关键词 离子束辅助沉积 掺杂 半导体制造
年,卷(期) 1996,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 36-40
页数 5页 分类号 TN305.3
字数 语种
DOI
五维指标
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
共引文献  (0)
参考文献  (0)
节点文献
引证文献  (0)
同被引文献  (0)
二级引证文献  (0)
1996(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
离子束辅助沉积
掺杂
半导体制造
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
上海微电子技术和应用
季刊
1006-9453
31-1239/TN
上海市胶州路397号 上海半导体器件研究
出版文献量(篇)
435
总下载数(次)
3
总被引数(次)
0
论文1v1指导