等离子体源离子注入装置中平面靶鞘层时空演化的计算机模拟

• 作者: 于炯 张慧生
• 来源期刊: 新疆工学院学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 等离子体源离子注入 平面靶 碰撞鞘层 计算机模拟
• 年，卷（期）: 1996,（1）
• 页码范围: 60-64
• 页数: 5页
• 分类号: O53

摘要

等离子体源离子注入是用于材料表面改性的一种新的，廉价的，非视线技术，它将待注入的靶直接浸泡在等离子体源中，并在靶上施加一系列负高压脉冲，离子在等离子体同靶表面形成的等离子体鞘层中被加速，并注入到靶中。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张慧生	新疆工学院基础部	4	0	0.0	0.0
2	于炯	新疆工学院基础部	1	0	0.0	0.0