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RF放电中对低损伤等离子体处理的离子能量的控制
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文献信息
| 篇名 | RF放电中对低损伤等离子体处理的离子能量的控制 | ||
| 来源期刊 | 国外核聚变与等离子体应用 | 学科 | 物理学 |
| 关键词 | 低损伤 等离子体处理 离子能量控制 射频放电 | ||
| 年，卷（期） | 1996,（4） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 72-76 | |
| 页数 | 5页 | 分类号 | O53 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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离子能量控制
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