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中性束辅助蚀刻器的研制
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文献信息
| 篇名 | 中性束辅助蚀刻器的研制 | ||
| 来源期刊 | 国外核聚变与等离子体应用 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 中性束 蚀刻器 NBA 串联型 低损伤 集成电路 | ||
| 年，卷（期） | 1996,（5） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 68-75 | |
| 页数 | 8页 | 分类号 | TN405.982 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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