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微流体芯片
光蚀刻
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 高功能、高能KrF准分子激光系统研究工作进展
来源期刊 中国原子能科学研究院年报 学科 工学
关键词 双向电子束泵浦 氟化氪准分子激光系统 放大器 电子束诊断 激光束诊断
年,卷(期) 1996,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 52-56
页数 5页 分类号 TN248.22
字数 语种 中文
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1996(0)
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研究主题发展历程
节点文献
双向电子束泵浦
氟化氪准分子激光系统
放大器
电子束诊断
激光束诊断
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
中国原子能科学研究院年报
年刊
大16开
北京275信箱65分箱
1978
chi
出版文献量(篇)
6253
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51
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