Si晶体中δ掺杂Sb原子的分布研究

• 作者: 蒋最敏 贾全杰
• 来源期刊: 北京同步辐射装置年报
• 学科: 工学
• 关键词: Si晶体 Δ掺杂 SB 分布 硅 半导体 锑 密度 杂质 X射线
• 年，卷（期）: bjtbfszznb,（1）
• 页码范围: 64-65
• 页数: 2页
• 分类号: TN304.12

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋最敏	复旦大学应用表面物理国家重点实验室	24	93	5.0	9.0
2	贾全杰	中国科学院高能物理研究所	18	57	3.0	7.0