利用正交法优化人造水晶生长工艺

• 作者: 陈庆忠
• 来源期刊: 压电晶体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 人造水晶 生长工艺 正交法
• 年，卷（期）: 1997,（3）
• 页码范围: 10-26
• 页数: 17页
• 分类号: TQ164.3

摘要

本文介绍了应用正交法优化人造水晶生长工艺的方法并在此基础上提出了生长工艺较为理想的设计；进一步明确了实际生产当中Ｑ值，生长速率，包裹体等各单项指标的优化方法，准确估计目前正使用的生长工艺距理想工艺的距离。从而有效地提高人造水晶生长工艺水平，在实际生产提供可靠的指导依据。本文给出利用正交法优化人造水晶生长工艺的较详细的操作和分析方法。