GaN生长工艺流程实时监控系统

• 作者: 徐茵 杨大智 王三胜 王知学 顾彪
• 来源期刊: 微电子学与计算机
• 关键词: ECR-MOCVD 外延生长 GaN薄膜 实时监控 光电隔离
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 微电子技术
• 页码范围: 60-64
• 页数: 5页
• 分类号: TP27
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7180.2002.01.018

摘要

文章分析了在ECR-MOCVD装置上外延生长GaN单晶薄膜的工艺过程特点和在此过程中影响GaN结晶质量的主要因素.在此基础上,设计了一套由80C31单片机为核心的光电隔离电路和PC机组成的两级系统,用于GaN薄膜外延生长的工艺流程监控,并提出了一种合适的工艺流程监控策略.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾彪		41	363	12.0	18.0
2	徐茵		26	207	8.0	13.0
3	杨大智		84	1226	20.0	31.0
4	王三胜		13	97	5.0	9.0
5	王知学		3	7	2.0	2.0