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一个100kV,100kW等离子体离子植入装置的设计特点
一个100kV,100kW等离子体离子植入装置的设计特点
作者:
Mato.,JN
徐坚
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
等离子体
离子植入
脉动功率
PII
摘要:
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篇名
一个100kV,100kW等离子体离子植入装置的设计特点
来源期刊
国外核聚变与等离子体应用
学科
工学
关键词
等离子体
离子植入
脉动功率
PII
年,卷(期)
1997,(5)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
58-62
页数
5页
分类号
TN305.3
字数
语种
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等离子体
离子植入
脉动功率
PII
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期刊影响力
国外核聚变
主办单位:
四川省核学会
出版周期:
双月刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
四川省成都市432信箱
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
728
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