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离子束辅助沉积
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内容分析
关键词云
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文献信息
篇名 用正离子和负离子的离子束沉积
来源期刊 国外核聚变与等离子体应用 学科 工学
关键词 双束沉积 离子束工艺 负离子束 沉积 正离子
年,卷(期) 1997,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 66-74
页数 9页 分类号 TG174.442
字数 语种 中文
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研究主题发展历程
节点文献
双束沉积
离子束工艺
负离子束
沉积
正离子
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期刊影响力
国外核聚变与等离子体应用
双月刊
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544
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