用透射光栅谱仪测量多层膜的反射特性

• 作者: 王占山
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 软X射线 多层膜 反射率 透射光栅光谱仪
• 年，卷（期）: 1999,（4）
• 所属期刊栏目: 薄膜光学
• 页码范围: 22-27
• 页数: 6页
• 分类号: O484.41
• 字数: 2295字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.1999.04.004

摘要

软X射线多层膜是当前应用光学和工程光学的研究热点之一,反射率是其性能和膜层质量最直观的参数,它的测量对了解多层膜性能和改进多层膜制备工艺具有重要意义.本文介绍采用带有前置光学系统的大面积透射光栅光谱仪分光,让软X射线多层膜反射+1级或-1级软X射线,用国产的SIOFM型X射线胶片接受软X射线,通过测量可定性地判断多层膜制备质量,为改进多层膜制备工艺提供重要的参考依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王占山	中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室	9	63	5.0	7.0