非接触测量物体表面粗糙度的研究

• 作者: 姚鹏 徐敏 李胜利 金泰义
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 粗糙度 CD激光头 四象限光电二极管 乘法解调
• 年，卷（期）: 1999,（1）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 43-46
• 分类号: TN2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.1999.01.013

摘要

CD机中,为跟踪盘片,其伺服系统必须能检测到盘片的微小的位移.在本论文中,将CD头的工作原理应用到物体表面粗糙度的测量当中,可使测量系统小型化,使用更方便.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐敏	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	52	480	12.0	20.0
2	姚鹏	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	23	216	9.0	14.0
3	李胜利	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	13	150	6.0	12.0
4	金泰义	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	3	23	3.0	3.0