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采用中性原子束的纳米制作
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文献信息
| 篇名 | 采用中性原子束的纳米制作 | ||
| 来源期刊 | 国外核聚变与等离子体应用 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 中性原子束 刻蚀 纳米制作 原子光学 电子器件 | ||
| 年，卷（期） | 1999,（2） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 54-61 | |
| 页数 | 8页 | 分类号 | TN405.98 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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