亚稳态氦原子束在纳米结构制作中的应用

• 作者: 姚汉民 陈旭南 陈献忠
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 亚稳态原子束 纳米结构制作 光掩模 光驻波淬火 自组装单分子膜抗蚀剂
• 年，卷（期）: 2003,（9）
• 所属期刊栏目: 粒子束及加速器技术
• 页码范围: 919-922
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 3245字
• 语种: 中文

摘要

介绍两种用亚稳态氦原子束制作纳米结构的新方法.亚稳态原子束从原子源喷出后首先对其进行横向激光冷却,准直后的原子束穿过与之垂直的激光驻波场时发生淬火过程,原子的密度分布出现沟道化效应,给出基于光掩模制作纳米图形的基本原理、理论分析及模拟结果.介绍基于物理掩模制作纳米图形的原理和SAM抗蚀剂,利用沉积在基底上的亚稳态原子破坏基底上的SAM膜,结合刻蚀技术可制作出纳米量级的图形.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚汉民		2	10	2.0	2.0
2	陈献忠		1	4	1.0	1.0
3	陈旭南		1	4	1.0	1.0