高压电极表面改性及其效果研究

• 作者: 向伟 方仁昌
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 真空间隙放电 阴极表面电场 离子束辅助沉积效果
• 年，卷（期）: 1999,（4）
• 所属期刊栏目: 第六届全国核靶技术交流会论文选
• 页码范围: 378-381
• 页数: 4页
• 分类号: O484.5|O484.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6931.1999.04.026

摘要

由半球-平板组成的真空间隙,在单次脉冲高压作用下,用数字化信号分析仪DSA602A捕获并理论分析了放电电流波形,计算出一定尺寸真空间隙的半球面阴极顶部轴向电场.用优选的离子束辅助沉积(IBAD)工艺参数,沉积出结合强度很高的一些薄膜.各种薄膜能承受900 °C的高温处理,经受数百次高能微粒子轰击后,仍能保持原有的表面状况.单次脉冲放电波形的主要参数表明:制作的几种薄膜,在耐压能力方面均有不同程度的改善,改善的程度由薄膜材料的综合特性来体现.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	向伟	中国工程物理研究院应用电子学研究所	29	105	6.0	8.0
2	方仁昌	中国工程物理研究院应用电子学研究所	6	27	4.0	5.0