微机械音叉陀螺的误差源研究

• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械音叉陀螺 BROWNIAN噪声 电路噪声 机械耦合误差 电子机械耦合误差
• 年，卷（期）: 1999,（4）
• 页码范围: 243-249
• 页数: 7页
• 分类号: TP21
• 语种: 中文

摘要

定性地讨论了微机械音叉陀螺特有的一些误差源,主要有机械结构的 BROWNIAN噪声、电路噪声、机械耦合误差及电子机械耦合误差等.对上述误差源的认识是微结构制造和电路设计的基础.