类Ni稀土X光激光波段衰减膜的设计与研究

• 作者: 周斌 杜保旗 汤学峰 祁金林 赖珍荃 陈玲燕 顾牡
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: Ag衰减膜 聚苯乙烯衰减膜 真空a能谱测厚仪 俄歇电子能谱(AES)
• 年，卷（期）: 1999,（4）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 428-432
• 分类号: TN243
• 语种: 中文

摘要

对类Ni稀土X光激光波段衰减膜进行了设计,并根据设计结果,利用磁控溅射和旋转涂覆法分别制备了自支撑的Ag衰减膜和聚苯乙烯(C8H8)衰减膜.利用真空α能谱测厚仪和a-step100台阶仪分别对衰减膜的质量厚度和均匀性进行了测量,用Auger电子能谱(AES)对Ag衰减膜进行了表面杂质分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾牡	同济大学玻耳固体物理研究所	76	433	13.0	16.0
2	周斌	同济大学玻耳固体物理研究所	140	1582	22.0	31.0
3	赖珍荃	同济大学玻耳固体物理研究所	6	49	3.0	6.0
4	杜保旗	同济大学玻耳固体物理研究所	2	5	2.0	2.0
5	陈玲燕	同济大学玻耳固体物理研究所	60	522	13.0	19.0
6	汤学峰	同济大学玻耳固体物理研究所	7	47	3.0	6.0
7	祁金林	同济大学玻耳固体物理研究所	2	2	1.0	1.0