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功能奇特的“微细工程”
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文献信息
| 篇名 | 功能奇特的“微细工程” | ||
| 来源期刊 | 科技信息（山东） | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 微细工程 集成电路硅片 微型探测器 | ||
| 年，卷（期） | kjxxsd_1999,（11） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 10 | |
| 页数 | 1页 | 分类号 | TN47 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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研究主题发展历程
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微细工程
集成电路硅片
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期刊影响力
科技信息（山东）
主办单位：
山东省技术开发服务中心
出版周期：
半月刊
ISSN：
1001-9960
CN：
CN 37-1021/N
开本：
出版地：
山东省济南市千佛山东二路19号园楼一层科技信息编辑部
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
8941
总下载数（次）
23
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