晶体生长温控仪的程控化改造

• 作者: 曾晓兰
• 来源期刊: 四川师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 晶体生长 温度控制 程序控制
• 年，卷（期）: 1999,（5）
• 页码范围: 579-582
• 分类号: O453
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8395.1999.05.021

摘要

对提拉法晶体生长中所使用的温度控制仪器DWT-七0二精密温度自动控制仪进行程序化改造.改装后的程序化控制系统对本拉晶工艺适用,方便,降低了操作人员的劳动强度,改善了晶体的质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾晓兰	四川师范大学固体物理所	9	40	4.0	6.0