相移干涉计量中高精度相移器的研究

• 作者: 任亚萍 张弛 范华 谭玉山
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 电子散斑 相移器 干涉计量
• 年，卷（期）: 1999,（1）
• 所属期刊栏目: 实验技术与元件
• 页码范围: 21-25
• 分类号: TN2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.1999.01.005

摘要

相移器是相移干涉计量中的关键技术,对测量精度有很大的影响,关系到相移技术的成败.介绍了一种闭环控制的高精度相移器,输出电压精度为0.1%,相移器重复误差小于3°,用该相移器的电子散斑干涉计量系统测量精度可达λ/100.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭玉山	西安交通大学激光红外研究所	77	1184	18.0	31.0
2	范华	西安交通大学激光红外研究所	2	25	2.0	2.0
3	张弛	西安交通大学激光红外研究所	8	53	4.0	7.0
4	任亚萍	西安交通大学激光红外研究所	1	21	1.0	1.0