用于有源矩阵液晶显示的Ta-Ta2O5-Ta MIM薄膜二极管

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庄大明张浩康黄蕙芬

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篇名	用于有源矩阵液晶显示的Ta-Ta2O5-Ta MIM薄膜二极管
来源期刊	真空电子技术	学科
关键词
年，卷（期）	1999,（1）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	15
页数	1页	分类号
字数	1930字	语种	中文
DOI	10.3969/j.issn.1002-8935.1999.01.003