用β射线在线测试薄膜厚度的计算机测量系统

• 作者: 李传芳 林文豪 许立梓 郑锐生
• 来源期刊: 广东工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计算机测量系统 β射线测厚 薄膜厚度
• 年，卷（期）: 1999,（2）
• 页码范围: 5-8
• 页数: 4页
• 分类号: TP273
• 字数: 1361字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7162.1999.02.002

摘要

介绍用β射线在线自动测试薄膜厚度的计算机测量系统的基本构成、系统功能、测试原理及软件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李传芳	广东工业大学电气工程及自动化系	18	55	4.0	7.0
2	许立梓	广东工业大学电气工程及自动化系	17	111	6.0	10.0
3	林文豪		1	21	1.0	1.0
4	郑锐生		1	21	1.0	1.0