GaAs红外发光管芯片的表面性质

• 作者: 林秀华
• 来源期刊: 厦门大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: GaAs红外发光二极管 芯片 表面性质
• 年，卷（期）: 1999,（5）
• 所属期刊栏目: 物理学·技术科学
• 页码范围: 682-686
• 页数: 5页
• 分类号: O472|O475
• 字数: 1854字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0438-0479.1999.05.008

摘要

利用扫描电子显微镜观察GaAs外延层及IR-LED芯片的表面,测量了输出辐射强度随芯片表面不同形貌的变化,讨论了GaAs红外发光二极管外延及芯片工艺对器件光学、电学性质的影响. 结果显示,芯片表面玷污、划伤,电极磨损,使输出辐射强度降低.