真空等离子装置的改进设计

• 作者: 王珉 袁安富
• 来源期刊: 南京航空航天大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子喷涂 沉积 类金刚石 设备改造
• 年，卷（期）: 1999,（5）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 552-555
• 页数: 4页
• 分类号: TB79|V261.935
• 字数: 1012字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-2615.1999.05.012

摘要

利用旧的真空装置改造成一个物理气相沉积设备,不仅节约了大量的资金,而且还为今后的科研工作开辟了一个崭新的领域.本文主要讨论了在改造过程中,根据物理气相沉积的共性以及本实验装置的特定要求和需要注意的几个问题,如一个真空沉积腔的整体结构、密封性和冷却结构,如何有效地利用载物台、励磁电路和点火电路的设计等,提出了改造方案.目前,已成功地将它改造成真空度为10-2τ的低真空等离子沉积装置.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王珉	南京航空航天大学机电工程学院	205	2631	27.0	40.0
2	袁安富	南京航空航天大学机电工程学院	6	39	2.0	6.0