基于图像处理的显微镜自动调焦方法研究

• 作者: 于水 徐毓娴 李庆祥 白立芬
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 显微镜 自动调焦 图像处理
• 年，卷（期）: 1999,（6）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 612-614
• 分类号: TH7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.1999.06.018

摘要

自动调焦技术是提高显微镜测量精度的重要手段,本文介绍了采用图像处理法实现显微镜自动调焦的方法.对图像处理法实现显微镜自动调焦中的两腹丶际踅辛讼晗傅奶致?其一是图像清晰度评价函数的选取,文中采用绝对方差函数和修正平方梯度函数分别作为粗精调焦评价函数;另外还针对提高图像信息质量的方法进行了探讨,采用线性拟合与同态滤波方法进行图像处理,为离焦判断提供高质量的图像信号.实验表明,该方法调焦精度达±0.3μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李庆祥	清华大学精密仪器与机械学系	84	2180	20.0	45.0
2	白立芬	清华大学精密仪器与机械学系	23	478	10.0	21.0
3	于水	清华大学精密仪器与机械学系	11	184	5.0	11.0
4	徐毓娴	清华大学精密仪器与机械学系	21	417	10.0	20.0