电容测微仪动态特性的改进及标定方法

• 作者: 张国雄 张宇华 王晓琳 郑义忠
• 来源期刊: 北京理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 滤波电路 频率响应 电容测微仪 标定
• 年，卷（期）: 1999,（1）
• 所属期刊栏目: 光学与电子工程
• 页码范围: 87-91
• 页数: 5页
• 分类号: TH822
• 字数: 2157字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0645.1999.01.019

摘要

目的对一种高精度、高频响的电容测微仪系统进行改进.方法以8阶Butterworth滤波器MAX291为核心元件,设计了该系统的动态测量电路,提出了电容测微仪系统动态特性的测试与标定方法. 结果与结论改进后的电容测微仪在±10μm的量程内非线性误差最大不超过0.80%,重复性精度优于0.15%,测量精度优于0.10μm,频响范围达4.2kHz.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张国雄	天津大学精密仪器与光电子工程学院	267	3932	30.0	48.0
2	郑义忠	天津大学精密仪器与光电子工程学院	60	769	17.0	25.0
3	张宇华	北京理工大学光电工程系	7	76	5.0	7.0
4	王晓琳	山东工业大学机械工程学院	4	37	2.0	4.0