接触表面形貌对石英谐振式力传感器蠕变的影响

• 作者: 冯冠平 朱惠忠 王喆垚 董永贵
• 来源期刊: 清华大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 石英 谐振器 力传感器 蠕变 表面形貌
• 年，卷（期）: 1999,（11）
• 所属期刊栏目: 精密仪器
• 页码范围: 110-113
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-0054.1999.11.031

摘要

石英谐振式力传感器是一种新型的数字式传感器,本文研究了由柔性铰链组成的弹性体和AT-切石英谐振器构成的石英谐振式力传感器的蠕变特性的影响因素.石英谐振式力传感器的蠕变主要是由于粘弹性的胶粘剂造成的,本文以描述表面形貌的WA模型和粗糙度微峰模型为基础,建立了蠕变与接触表面形貌和安装预紧力之间关系的模型.理论计算和实验结果表明,蠕变与接触表面形貌和安装预紧力分别近似地成反比和正比.不同接触表面粗糙度对蠕变影响的对比实验结果表明,随着表面粗糙度的减小,传感器的蠕变误差下降.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱惠忠	清华大学精密仪器与机械学系	18	167	6.0	12.0
2	冯冠平	清华大学精密仪器与机械学系	26	250	10.0	15.0
3	王喆垚	清华大学精密仪器与机械学系	16	139	6.0	11.0
4	董永贵	清华大学精密仪器与机械学系	41	450	11.0	20.0