超精密加工精度分析

• 作者: 戴一帆 李圣怡
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 超精密加工 误差补偿 加工精度 机床
• 年，卷（期）: 1999,（2）
• 所属期刊栏目: 科学基金
• 页码范围: 203-206
• 页数: 4页
• 分类号: TH161
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.1999.02.025

摘要

介绍超精密加工技术概要;从加工精度角度出发分析超精密加工技术国内外动态及今后发展的目标;探讨进一步提高主轴和导轨运动精度以及微进给和超精密测量精度等的可能性和关键技术问题;展望超精密加工技术在微细加工领域的发展前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴一帆	国防科技大学精密机械与仪器系	109	1657	23.0	33.0
2	李圣怡		186	3101	27.0	44.0