超精密平面磨削0.01μm微量进给装置的实验研究

• 作者: 刘东 吴明根 殷国富
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 微量进给 分辨率 压电陶瓷 超精密平面磨削 空气轴承
• 年，卷（期）: 1999,（1）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 21-23
• 页数: 3页
• 分类号: TG74
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.1999.01.008

摘要

微量进给可满足可延性磨削的要求,微量进给装置采用压电陶瓷作为控制元件,通过调节空气轴承供气压力,实现超精密平面磨削0.01 μm的微进给量,实验表明该装置可用于磨床导轨误差的缓进给补偿控制中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	殷国富		5	41	4.0	5.0
2	吴明根		2	7	2.0	2.0
3	刘东		1	2	1.0	1.0