采用工件加振方式的微细超声加工特性的研究

• 作者: 增泽隆久 杨晓辉
• 来源期刊: 电加工与模具
• 学科: 工学
• 关键词: 微细加工 超声加工 硬脆材料 加工速度 工具损耗率
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 设计·研究
• 页码范围: 29-32
• 页数: 4页
• 分类号: TG5
• 字数: 2763字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-279X.2000.03.010

摘要

通过以WEDG放电加工手段制作微细超声加工用工具,在采用工件加振方式的微细超声加工机上对碳酸玻璃、半导体硅等硬脆材料试件进行微孔加工的实验,来探讨在某一特定加工条件下工具材料、工件材料、工件的振幅、加工静载荷、磨料悬浮液浓度、工具长度及工件尺寸等重要因素对加工速度、工具损耗率的影响,为微细超声加工技术的实用化提供参考依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨晓辉		1	50	1.0	1.0
2	增泽隆久		1	50	1.0	1.0