微型流量传感器研究

• 作者: 张文栋 张斌珍 李永红 郭涛
• 来源期刊: 华北工学院测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 热膜 流量 传感器
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 页码范围: 25-28
• 页数: 4页
• 分类号: TH814
• 字数: 1439字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2000.01.005

摘要

目的　研究微型管道的流量测量技术. 方法　采用热膜技术, 在石英玻璃棒上镀一层铂电阻膜, 利用激光将铂膜蚀刻成特定的形状, 形成 4 个独立的铂电阻, 并构成一基本的电桥, 电桥通以一定的电流后产生热量, 由于液体流动的作用会使 4 个铂电阻间产生一定的温差, 从而导致电桥失衡, 产生一定的输出电势. 结果　研制出的流量传感器的各项技术指标满足设计要求. 结论　微型流量传感器与传统的传感器相比, 在性能上有了较大的提高, 并且具有对管道中液体压力损失小的特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张斌珍	华北工学院电子工程系	10	35	4.0	5.0
2	张文栋	华北工学院电子工程系	27	265	7.0	16.0
3	李永红	华北工学院电子工程系	6	26	3.0	5.0
4	郭涛	华北工学院电子工程系	3	5	1.0	2.0