透射式GaAs光电阴极激活技术研究

• 作者: 徐江涛
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: GaAs NEA光电阴极 激活 在线监测 双冷铟封
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 微光技术
• 页码范围: 5-7,11
• 页数: 4页
• 分类号: TN223-34
• 字数: 2159字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2082.2000.04.002

摘要

通过对成像器件GaAs负电子亲合势(NEA)光电阴极激活技术的研究,运用分析仪器进行工艺质量在线监测,在大、薄、匀的GaAs外延层激活出的台内阴极灵敏度大于1300μA/lm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐江涛		21	106	6.0	9.0