高精度平面度测量方法的研究

• 作者: 于瀛洁 张之江 张善钟
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 精度 平面度测量 测量方法不确定度
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 页码范围: 119-124
• 页数: 6页
• 分类号: TB92
• 字数: 2753字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.2000.02.007

摘要

本文以中等尺寸000级平板为研究对象,采用双频激光测量系统的直线度测量部件进行平面度测量,分析计算了这一测量方法的测量不确定度,并进行了实际测试.理论分析和测试结果表明,这一方法的测量不确定度及其重复采样点偏差值的重合度可以满足中等尺寸000级平板的测量要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于瀛洁		80	791	16.0	24.0
2	张之江		74	555	13.0	20.0
3	张善钟		2	51	2.0	2.0