一种微型隧道效应磁强计的设计

• 作者: 丁衡高 叶雄英 朱俊华
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 关键词: MEMS 隧道效应 磁强计
• 年，卷（期）: 2000,（8）
• 所属期刊栏目: 仪器与仪表
• 页码范围: 16-17,34
• 页数: 3页
• 字数: 1777字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2000.08.007

摘要

隧道效应传感器是一种灵敏度很高的位移传感器,其原理已经被用于微加速度计和红外传感器的设计.文中介绍了基于这一原理的微型磁强计,对传感器的固有频率和驱动电压进行了分析和计算.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶雄英	清华大学精密仪器系	62	1070	15.0	31.0
2	丁衡高	清华大学精密仪器系	6	55	4.0	6.0
3	朱俊华	清华大学精密仪器系	11	74	4.0	8.0