通过控制原子实现纳米图形制作研究

• 作者: 冯伯儒 姚汉民 罗先刚 陈旭南
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米图形 激光准直 激光捕获
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 51-54
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.99
• 字数: 1344字
• 语种: 中文

摘要

基于激光冷却和捕获原子的原理,初步探讨了利用原子进行纳米量级图形制作的基本原理和实验研究.研究结果表明,此技术可实现分辨率高达几个纳米大小的超微细图形制作,制作效率极高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚汉民	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	44	355	9.0	16.0
2	陈旭南	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	39	212	9.0	13.0
3	冯伯儒	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	30	293	9.0	16.0
4	罗先刚	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	52	315	9.0	15.0