微结构气敏传感器的热分析与结构设计

• 作者: 朱敏慧 李建平 高晓光
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微结构气敏传感器 热分析 有限元方法 结构设计
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 页码范围: 194-198
• 页数: 6页
• 分类号: TP21
• 字数: 3855字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2000.03.007

摘要

微结构气敏传感器由于其微型化、低功耗、易阵列化、易智能化、易批量生产等独特优点,受到国内外研究者的广泛重视.本文分析膜片型微结构气敏传感器基本单元的热学行为,用有限元方法模拟计算多种不同电极结构的器件功耗及工作区温度分布,提出了进一步降低功耗改善工作区温度均匀性的途径和方法,并讨论了微结构气敏传感器设计中应着重考虑的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李建平	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	251	4235	35.0	54.0
2	朱敏慧	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	59	820	16.0	27.0
3	高晓光	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	52	248	9.0	13.0