冷等离子体冶金效应研究

• 作者: 何笑明 冯信华 尹盛 王宇 王敬义 肖成章
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: 冷等离子体 冶金效应 材料纯化
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 页码范围: 35-39
• 页数: 5页
• 分类号: TK51
• 字数: 3163字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-0096.2000.01.007

摘要

实验表明,辉光放电产生的等离子体对硅、TiN、SiC等材料具有明显的提纯效果,对其进行了讨论,并指出应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王敬义	华中理工大学电子科学与技术系	8	43	5.0	6.0
2	王宇	华中理工大学电子科学与技术系	4	26	3.0	4.0
3	冯信华	华中理工大学电子科学与技术系	7	34	4.0	5.0
4	尹盛	华中理工大学电子科学与技术系	6	37	5.0	6.0
5	何笑明	华中理工大学电子科学与技术系	4	25	3.0	4.0
6	肖成章	华中理工大学电子科学与技术系	1	8	1.0	1.0